下载一种高效单晶炉的技术资料

文档序号:32034277

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本实用新型提供了一种高效单晶炉,包括单晶炉本体(1)、管路组(2)、开关组(3)、真空罐组(4)和真空泵组(5),所述管路组(2)连接所述单晶炉本体(1),所述真空罐组(4)和所述真空泵组(5)分别连接所述管路组(2)的与所述单晶炉本体(1...
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