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本发明涉及一种MEMS加速度计及其形成方法，其MEMS加速度计包括：衬底；检验质量块弹性连接于衬底上；顶部固定电极设置于检验质量块远离衬底的一侧；底部固定电极设置于检验质量块远离顶部固定电极的一侧；其中，顶部固定电极与检验质量块形成第一电容...
该专利属于杭州麦新敏微科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州麦新敏微科技有限责任公司授权不得商用。

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