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文档序号:3203346

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本发明提供一种大电流对应型的低温多晶硅薄膜晶体管,可很大程度抑制大电流驱动时自我加热所引起的特性恶化。本发明的半导体装置在具有玻璃基板10、主动层12,以及在其上隔着栅极绝缘膜13所形成的栅极电极14的TFT中,在沟道区域12c的下方或整个...
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