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本发明是关于一种定盘、载物台装置及曝光装置以及曝光方法，能够抑制因曝光用的液体的泄漏和浸入所带来的影响，并可进行良好的曝光处理。定盘４１具有用于支持物体的支持表面４１Ａ。使定盘４１具有拨液性，且设有用于从定盘４１回收液体的回收装置７１。...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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