温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种电极形成方式、电容元件及其制造方法，实现了构成电容元件的电极的微细化，并且提供了具有微细化的电极的电容元件的制造方法。在电容元件的制造方法中，在半导体衬底上形成第１导电膜之后，在第１导电膜上形成在第１方向延伸的第１掩膜图形，...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。