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一种覆盖晶体管栅极叠层的侧壁和沿晶体管栅极叠层的底部的衬底的一部分的抗蚀刻衬里。该衬里防止在栅极叠层的侧壁上形成可能引起电短路的硅化物，并在晶体管栅极叠层的底部的衬底中的源极和漏极区中确定硅化物形成的位置。该衬里还覆盖电阻器栅极叠层，防止在...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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