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一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法技术
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文档序号:32030837
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本发明提供适用范围广且效率高的一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法,包括如下步骤:抽真空,抽真空装置对真空室进行抽真空;预冷却,基材传送装置通过水冷结构对驱动辊进行预冷却;预紧张力,基材传送装置通过驱动辊将基材绷紧,并将基材传送至雾化加热装置...
该专利属于浙江生波智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江生波智能装备有限公司授权不得商用。
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