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用于集成电路应用的镧系分层超晶格材料制造技术
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文档序号:3203061
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集成电路(40)包括分层超晶格材料(57),该分层超晶格材料包括元素铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱和镥中的一种或多种。这些元素可以是A位元素,或者是分层超晶格材料中的超晶格发生器元素。在一个实施例中,这些元素中的一种或多...
该专利属于塞姆特里克斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过塞姆特里克斯公司授权不得商用。
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