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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3202997
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一种半导体装置,其具有:剖面上具有弯曲部的下部电极(16),沿该下部电极(16)的上面形成由强电介质构成的电容器绝缘膜(17),沿着该电容器绝缘膜(17)上面形成的上部电极(18)。电容器绝缘膜(17)和上部电极(18)是通过化学气相沉积法...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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