下载半导体装置及其制造方法的技术资料

文档序号:3202997

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体装置,其具有:剖面上具有弯曲部的下部电极(16),沿该下部电极(16)的上面形成由强电介质构成的电容器绝缘膜(17),沿着该电容器绝缘膜(17)上面形成的上部电极(18)。电容器绝缘膜(17)和上部电极(18)是通过化学气相沉积法...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。