下载支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置的技术资料

文档序号:32029608

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一种用于支撑基板的支撑单元,包括:加热构件;和反射器,并且所述反射器包括曲面,该曲面将加热构件产生的热能向基板的边缘区域反射。射。射。
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