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提供一种指纹传感器及其制作方法，利用微电子机械系统（ＭＥＭＳ）工艺将各元件同时制作成薄膜形状，以便提高指纹鉴定速度。指纹传感器包括：形成在第一类型掺杂剂掺杂的衬底上的互补型金属氧化物半导体结构；形成在互补型金属氧化物半导体结构上的绝缘层；形...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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