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本发明公开一种晶圆横向撞击测试装置及晶圆强度测试方法。晶圆横向撞击测试装置包括一承载座以及一撞击器。晶圆强度测试方法包括一第一准备步骤以及一第一撞击步骤。第一准备步骤将一待测晶圆平躺地设置于承载座上，并使待测晶圆的一预击边缘区对应于承载座的...
该专利属于昆山中辰矽晶有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山中辰矽晶有限公司授权不得商用。

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