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绝缘栅双极型晶体管及其制造方法技术
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文档序号:3202887
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本发明是关于一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法,提供一种带有设置于P型集电区(11)和P型(基区)之间(14)的N型缓冲区IGBT(10)。该缓冲区(12)中使用砷作为N型杂质。该缓冲区(12)具有相对较高的掺杂浓度,等于或大于5×10↑[...
该专利属于三垦电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三垦电气株式会社授权不得商用。
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