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本发明公开了一种具有斜面型纳米结构的波导镜片的制作方法，该方法包括，提供一波导衬底；在波导衬底表面制备一光刻胶层；在光刻胶层的表面至少选择2个区域，并对区域进行图形化处理，获得图形光刻胶以及图形凹槽；采用阴影镀膜的方式在图形光刻胶上以及图形...
该专利属于苏州苏大维格科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州苏大维格科技集团股份有限公司授权不得商用。

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