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一种制造薄膜晶体管的方法以及装置。提供一双反应室装置，具有不同的第一反应室以及第二反应室。然后，将具有金属栅极的一基板放入第一反应室中，沉积一钝化层于基板上而覆盖金属栅极。之后，将基板放入第二反应室中，沉积一栅极绝缘层与一半导体层于钝化层上...
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