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一种探针卡，不需要复杂的结构等，就能够针高度无偏差地高密度且高精度配设微小探针。设置在晶片试验装置上的探针卡（１），包括：基板（１０），具有传送外加给作为试验对象的晶片的测试信号的布线图形；形成在基板（２）的表面上的组合基板（１０）；硅制探...
该专利属于株式会社爱德万测试所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱德万测试授权不得商用。

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