下载薄膜晶体管与其制作方法的技术资料

文档序号:3202690

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本发明主要是提供一种薄膜晶体管,其包括有一半导体层、一下重掺杂半导体层与一上重掺杂半导体层构成的内岛状结构。其中下重掺杂半导体层设于半导体层的沟道区域外的相对两侧的上表面,而上重掺杂半导体层设于下重掺杂半导体层上且包覆下重掺杂半导体层相对于...
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