下载工件飘浮装置的技术资料

文档序号:3202660

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通过与确定于本体(28)中的供给口(26)连接的管(38)向确定于本体(28)中的连通腔室(36)供给压力流体。压力流体通过流体喷射部件(32)而从连通腔室(36)朝着工件(18)喷射,该流体喷射部件(32)由多孔材料制成,并通过板(34)...
该专利属于SMC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过SMC株式会社授权不得商用。

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