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文档序号:3202530

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一种以无线标签为典型的半导体器件,它具有改进了的机械强度,能够用更简单的工艺以低的成本加以制作,并防止了无线电波被屏蔽,以及一种制造此半导体器件的方法。根据本发明,无线标签包括由具有薄膜半导体膜的隔离的TFT组成的薄膜集成电路。无线标签可以...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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