下载掩膜版组件及掩膜版组件制备方法的技术资料

文档序号:32024489

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本发明公开了一种掩膜版组件及掩膜版组件制备方法,一种掩膜版组件,包括:框体;掩膜版本体,和框体通过焊接件连接,焊接件包括熔接部、至少一个围绕熔接部设置的焊点标定环。在焊接过程中,通过检测位于不同位置的焊点标定环的脱落或者完整情况,可以用以标...
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