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一种表面检查装置，构成如下，具备：利用马达进行旋转的晶片台，相对于该晶片台旋转自如地设置的一对夹紧臂，对该夹紧臂施力以使其向中心方向旋转的施力机构，设在上述晶片台上、并载置晶片的周缘部的圆弧状的载置座，和设在上述夹紧臂上、并抵接在晶片的周缘...
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