下载偏振分析方法的技术资料

文档序号:3202314

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在氧化膜(301)的下层,形成有:由金属布线(302)和层间绝缘膜(303)构成的B层,和由在与金属布线(302)正交方向形成的金属布线(304)和层间绝缘膜(305)所构成的D层的多层布线。入射光中的s偏振光成分由B层界面反射,p偏振光成...
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