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校准和使用半导体处理系统的方法技术方案
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文档序号:3202307
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提供了一种避免高温计温度读取错误的方法。上部高温计用于检测来自在标准处理条件下形成在测试基底上的测试层的红外辐射。来自测试层的红外辐射具有周期,该周期的长度表示该层的生长速率。该周期一般与生长速率成反比。则生长速率直接与温度有关。...
该专利属于应用材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料有限公司授权不得商用。
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