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电容介电层结构及其制造方法技术
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文档序号:3202295
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一种电容介电层结构,至少包括: 一基底,具有至少一预定电容结构; 一氮化物层形成在该预定电容结构的表面;以及 一氮氧化物层形成在该氮化物层的表面,其中该氮氧化物层是利用氧化亚氮(N↓[2]O)来进行湿式氧化法与高温退火处理...
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