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本发明，通过加大曝光部和未曝光部的溶解度差，以提供用于高感度下高解像性的细微图形形成的光刻胶等中的组合物为目的。本发明涉及一种酸分解性组合物，特征在于包含具有式（Ⅰ）表示的重复单元的聚合物以及酸或通过外部刺激产生酸的化合物。式中，Ｒ↓［１］...
该专利属于日本曹达株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本曹达株式会社授权不得商用。

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