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薄膜晶体管液晶显示器的阵列基底及其制造方法技术
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文档序号:3202280
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一种TFT-LCD的阵列基底及其制造方法。依序形成透明导体层、第一金属层、第一绝缘层、半导体层、第二绝缘层以及牺牲层于基底上。利用第一道光罩,形成具有不同厚度的光阻图案于部分牺牲层上。以光阻图案为罩幕,经由一系列蚀刻程序而定义出包含栅极的栅...
该专利属于广辉电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广辉电子股份有限公司授权不得商用。
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