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一种各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备方法,涉及磁电阻薄膜的制备方法,特别是涉及各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备。本方法是采用磁控溅射方法,通过选取不同成分的Ni↓[x]Fe↓[1-x]合金靶,x为78~85,以及溅射前通入镀膜室99.99%...
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