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用于支撑基片台（ＷＳＴ１）的第一主体单元（ＳＴ１）由震动隔离器（如１６Ａ和１６Ｂ）在四个点处支撑，并且第二主体单元（ＳＴ２）由第二震动隔离器（如２４Ａ和２４Ｂ）在三个点处支撑在第一主体单元上。这使得第一主体单元和基片台可以以稳定的方式被高刚...
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