下载半导体功率器件和形成方法的技术资料

文档序号:3202090

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按照一种实施方式,应力缓冲层(40)被形成在功率金属结构(90)与钝化层(30)之间。应力缓冲层(40)通过功率金属结构(90)减小施加于钝化层(30)上的应力的作用。按照另一实施方式,功率金属结构(130A)被分为多段(1091),从而通...
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