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文档序号:3202060

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本发明涉及半导体装置及其制造方法,通过在整个面上溅射钛形成钛层(6)。这样,P↑[+]型扩散层(4)通过硅化物阻止层(5)的开口部(5a、5b)与钛层(6)接触。之后,通过进行热处理,将和P↑[+]型扩散层(4)接触的钛层(6)部分地硅化,...
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