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本实用新型涉及OLED金属阳极像素制作领域，尤其涉及一种硅基OLED阳极像素光刻内切结构制作方法，采用底部正性光刻胶与顶部正性光刻胶组合和不同线宽掩模版方式分步进行曝光，最终显影完成一次光刻，该方法制作的金属阳极能够精确控制内切结构的尺寸和...
该专利属于云南北方奥雷德光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南北方奥雷德光电科技股份有限公司授权不得商用。

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