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本发明涉及用光微影罩幕降低印制于基板上影像的不一致性及影像缩短的方法及光微影罩幕。不一致性及影像缩短于使用一光微影罩幕而印制于一基板上的一影像中实质地被降低，其中罩幕图案系包括相邻于一干净区域的至少一线与空间数组。至少一线特征被并入该罩幕图...
该专利属于因芬尼昂技术股份公司;国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过因芬尼昂技术股份公司;国际商业机器公司授权不得商用。

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