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一种水溶性材料、化学放大型抗蚀剂以及图形形成方法，在抗蚀膜（１０２）上形成含有水溶性聚合物、酸生成剂以及形成可包合该酸生成剂的包合物的化合物的水溶性膜（１０３）。接着，借助水溶性膜（１０３），对抗蚀膜（１０２）照射由ＮＡ为０．６８的ＫｒＦ准...
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