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图形形成方法技术
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文档序号:3202021
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一种图形形成方法,在基板上形成抗蚀膜,并对已形成的抗蚀膜选择性地照射曝光光,接着,对已进行图形曝光的抗蚀膜进行显影,并使用含有环糊精的水溶液对经显影的抗蚀膜进行漂洗,从而由抗蚀膜得到已微细化的没有歪斜的抗蚀图形。...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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