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本发明提供了一种显示装置及其制造方法。测量形成于基板上的非晶质硅膜的平均膜厚，将激光照射到该非晶质硅膜，然后，测定由该照射进行了晶体化的多晶硅膜的粒径分布，根据多晶硅膜的２个点Ａ、Ｂ的粒径的测定值，计算出适当的激光照射能量密度值，然后，测量...
该专利属于株式会社日立显示器所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立显示器授权不得商用。

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