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本发明涉及一种在空中传送期间稳定衬底的载体的方法。在第一方案中，提供第一装置，用于衬底载体的处理位置间的空中传送。第一装置包括（１）空中传送机构；（２）挂在空中传送机构上的衬底载体支架，适于接受和支撑衬底载体；以及（３）稳定装置，适于限制衬...
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