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本实用新型涉及抛光研磨浆料用的冷却装置，其包括通道、冷却部件，其中冷却部件包括多个冷却单元，每个冷却单元包括冷却管路、进液管路和出液管路、循环管路，其中冷却管路连续弯折设置在进液管路和出液管路之间，且多根冷却管路之间自弯折部相对错位分布，冷...
该专利属于德米特(苏州)电子环保材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德米特(苏州)电子环保材料有限公司授权不得商用。

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