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本发明提出一种用以制备多晶系膜层的激光退火装置，可以避免基板边缘区域的非晶系层在经激光退火时受到损害。此种激光退火装置包括一遮蔽结构，当对非晶硅系膜层进行激光退火以形成多晶系膜层时，遮蔽结构会抵挡基板边缘区域的激光，以避免激光完全照射到基板...
该专利属于统宝光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过统宝光电股份有限公司授权不得商用。

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