下载检测装置及其制造方法的技术资料

文档序号:3201616

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一种检测装置,包括:衬底;设置在衬底上的应力释放层;设置在应力释放层上的接触件;以及电连接到接触件的布线图案。此外,本发明的用于制造检测装置的方法包括以下步骤:提供衬底;在衬底的表面上形成应力释放层;形成在衬底表面上的应力释放层上延伸的布线...
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