下载一种不同覆盖率的双层硫化钼晶体材料的制备方法的技术资料

文档序号:32015404

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本发明公开了一种不同覆盖率的双层硫化钼晶体材料的制备方法,以Si/SiO2为衬底,钼箔为钼源,硫粉为硫源;双温区水平管式炉按照气流方向设定为硫源温区和沉积温区,硫源和钼源
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