下载抛光工件的抛光装置及方法的技术资料

文档序号:3201410

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抛光装置能够改变浆料的pH值以调整抛光速率并且使用较高的平面度抛光工件。该抛光装置包括:压力容器;在压力容器中配备的抛光板;将工件挤压到抛光板上的挤压板;相对于挤压板移动抛光板从而抛光工件的驱动装置;向压力容器中供应碱性气体或酸性气体的气体...
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