下载对于可编程器件使用原子层沉积的技术资料

文档序号:3201345

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一方面,提供一种设置和重新编程可编程器件状态的设备。一方面,提供一种方法,使得通过暴露触点(170)的电介质(210)形成开口(220),所述触点(170)形成在衬底(100)上。使用原子层沉积(ALD),在电介质(210)的壁上共形地沉积...
该专利属于奥翁尼克斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过奥翁尼克斯公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。