温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硅片扩散制结用链式推进方法，在链式炉中设置奇数批加热区段和偶数批加热区段；仅当奇数批硅片途径奇数批加热区段时，开启奇数批加热区段的加热装置对途径的奇数批硅片进行高温推进处理；未有奇数批硅片途径奇数批加热区段时，关闭奇数批加热...
该专利属于常州时创能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州时创能源股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。