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一种电子突触器件及其制作方法技术
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文档序号:32010690
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本发明涉及一种电子突触器件及其制作方法,其包括基板、铜锌锡硫介质层、绝缘层、栅电极、源电极和漏电极。所述基板,作为器件硬支撑层;所述铜锌锡硫介质层形成在基板上,作为导电沟道;所述绝缘层形成在铜锌锡硫介质层上;所述栅电极形成于绝缘氧化硅上并不...
该专利属于闽都创新实验室所有,仅供学习研究参考,未经过闽都创新实验室授权不得商用。
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