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本发明提供一种位置测量方法、曝光方法、曝光装置、及器件制造方法。在该位置测量方法中，用照明光束照明形成于物体上的标记，通过观察系对从该标记发生的光束进行摄像，对该摄像信号进行信号处理，获得与标记的位置相关的位置信息。根据包含于摄像信号中的与...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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