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用于非易失性半导体存储器的密集阵列结构制造技术
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文档序号:3200995
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本发明描述一种用于具有高面积密度的非易失性半导体存储器元件(14,16)的阵列结构(10)。通过共同使用虚接地方案和存储器元件(14,16)的2维阵列的结合来获得该高密度。连接行或列中的存储器元件(14,16)的字线在绝缘交叉点(22)彼此...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。
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