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氮化物半导体及其制备方法技术
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文档序号:3200903
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本发明涉及氮化物半导体,更具体地,涉及GaN基氮化物半导体及其制备方法。根据本发明的氮化物半导体包含基底;按以下结构的任一种形成的GaN基过渡层:三层结构的Al↓[y]In↓[x]Ga↓[1-x,y]N/In↓[x]Ga↓[1-x]N/Ga...
该专利属于LG伊诺特有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过LG伊诺特有限公司授权不得商用。
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