下载图案细微化用涂膜形成剂和使用该形成剂形成细微图案的方法的技术资料

文档序号:3200620

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本发明提供一种用于图案细微化的涂膜形成剂,是一种用于按以下方式形成细微图案的涂膜形成剂:在具有光致抗蚀剂图案的基板上涂敷该涂膜形成剂,利用其热收缩作用缩小光致抗蚀剂图案的间隔后,实质上完全除去该涂膜,形成细微图案,其特征在于该涂膜形成剂含有...
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