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一种在绝缘基片上形成的电子电路，它具有由半导体层构成的薄膜晶体管（ＴＦＴＳ）。半导体层的厚度小于１５００＊，例如在１００－７５０＊之间。在半导体层上形成主要由钛和氮构成的第一层。在所说的第一层上面形成由铝构成的第二层。将此第一和第二层按一定...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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