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文档序号:3200499

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本发明提供一种具有互连的半导体器件,降低了互连之间的漏电流并改善了TDDB特性,其包括绝缘间隔层(108)和填充在形成在绝缘间隔层中的凹槽内的互连(160),互连(160)包括铜层(124)和形成在铜层上的低膨胀金属层(140),铜层(12...
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